Технологии РЭС

Ознакомление с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии

Презентация в 252 слайда. Автор неизвестен. Подробное рассмотрение вопросов, связанных с конструированием и технологиями производства радиоэлектронных средств, систем и аппаратуры.

Профессор Градобоев А.В. Национальный исследовательский Томский политехнический университет. Томск. Россия. 2015. – 15 с. Рентгеновская и электронная литография Ядерное объемное легирование Ионная имплантация Радиационно-термический отжиг Радиационно-стимулированный отжиг Лазерные технологии Направленное изменение свойств полупроводников и приборов на их основе Использование...