Учебно-методический комплекс для студентов специальностей «Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств», «Промышленная электроника». — В 2 частях. — Новополоцк: ПГУ, 2012. — 316 с. Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию...
Комментарии