Москва: ЦНИИ Электроника, 1989. — 36 с. — (Обзоры по электронной технике. Серия 3. Микроэлектроника. Выпуск 4 (1472)). Проведен анализ существующих методов выращивания эпитаксиальных слоев арсенида галлия на кремниевой подложке. Рассмотрены механизм релаксации напряжений, возникающих вследствие разницы постоянных решеток и коэффициентов термического расширения, природа образования...
Москва, РХТУ, 2003. - 80 с. Рассмотрены основные методы получения неорганических неметаллических порошков химическими методами с точки зрения их использования для получения наночастиц: осаждение в водных или неводных средах, осаждение в газовых средах, гетерофазный синтез, золь-гель метод, криохимический метод, получение в гидротермальных условиях, осаждение в плазме или луче...
Москва: ЦНИИ "Электроника", 1990. — 50 с. — (Обзоры по электронной технике. Серия 6. Материалы. Выпуск 9 (1574)). Рассмотрены опубликованные в отечественной и зарубежной печати данные об особенностях получения слоев арсенида индия методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках арсенида галлия с ориентацией поверхности (001), механизмы зарождении пленок InAs, их морфология,...
Учебное пособие. — 3-е издание. — М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013. — 283 с. — (Нанотехнологии). В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем....
М.: ЦНИИ экономики и информации цветной металлургии, 1982. — 41 с. Обзорная информация. Серия: Производство редких металлов и полупроводниковых материалов. Выпуск I. В обзоре рассмотрены основные тенденции развития химической эпитаксии кремния из газовой фазы. Развитие электроники требует получения сверхтонких и сверхтолстых слоев с большим интервалом удельных...
Под ред. Сигова А.С. — М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. — 146 с. Представлены описания лабораторных работ для студентов 2-3 курсов, обучающихся по специальности "Нанотехнологии в электронике". В ходе выполнения работ студенты ознакомятся с некоторыми методами получения наночастиц и нанокомпозитов, приобретут навыки работы с объектами нанометрового размера и овладеют...
Учебное пособие. — СПб: Университет ИТМО, 2018. — 84 с. Целью учебного пособия является формирование у студентов знаний, умений и навыков по одному из ключевых направлений оптического материаловедения – жидкостным методам формирования оптических наноматериалов, с целью последующего использования полученных компетенций при разработке и применении оптических наноматериалов в...
Лабораторный практикум. - Москва, МИСиС, 2007. - 141 с. Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного...
Курс лекций. - Москва, МИСиС, 2008. - 156 с.
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия - формирование современных представлений...
Учебное пособие. — М.: МИСиС, 2012. — 128 с. — ISBN 978-5-87623-556-5. Рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование....
М.: МИСиС, 2012. — 122 с. — ISBN 978-5-87623-547-3. Рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и...
Курс лекций. - Москва, МИСиС, 2008. - 191 с.
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного...
М.: ЭЛИЗ, 2007. - 148 с.
Изложены результаты многолетних исследований в области получения объёмных нанокристаллических материалов методом порошковой металлургии из аморфного состояния и интенсивной пластической деформацией.
СПб.: Наука, 2007. — 185 с.
В книге рассмотрены технологические особенности получения нанопорошков с использованием различных нанотехнологий, в частности, газофазный синтез наноразмерных частиц для получения однокомпонентных нанопорошков, легированных металлических нанопорошков, карбидных и оксидных наночастиц, применение метода термического разложения солей для получения...
Перевод с англ. под ред. Б. В. Шульгина. - Москва, Физматлит, 2009. - 368 с.
Монография, написанная специалистами ведущих мировых научных лабораторий и институтов, занимающихся синтезом низкоразмерных диэлектрических и полупроводниковых материалов, посвящена основным достижениям в области выращивания кристалловолокон этих соединений из расплавов. Книга отличается широким кругом...
М.: Мир, 1989. - 600 с. - Для специалистов в области физики полупроводников и полупроводниковой электроники. - Перевод с англ. под ред. Алферова Ж. И. и Шмарцева Ю. В. В коллективной монографии ведущих американских и западноевропейских ученых дано изложение физических и технологических аспектов проблемы создания полупроводниковых тонкопленочных структур - одиночных...
Комментарии