Шевчук С.Л. Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов

Диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук: 05.27.01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах. — Физико-технологический институт РАН. — М., 2002. — 159 с.Настоящая диссертация посвящена проблеме развития метода реактивного ионно-лучевого синтеза (РИЛС) тонких пленок непосредственно из широких низкоэнергетичных пучков ионов высокой интенсивности, формируемых ионным источником с замкнутым дрейфом электронов.