Ильин О.И., Ильина М.В., Рудык Н.Н. (сост.) Метод плазмохимического осаждения из газовой фазы для роста углеродных нанотрубок

Учебно-методическое пособие. — Таганрог: Южный федеральный университет, 2023. — 36 с.; ил.В учебно-методическом пособии представлено теоретическое описание метода химического осаждения из газовой фазы для роста углеродных нанотрубок, влияние параметров роста на свойства получаемых нанотрубок, а также даны методические указания по росту углеродных нанотрубок методом плазмохимического осаждения из газовой фазы.
Пособие может быть использовано студентами, обучающимися по направлениям «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Наноинженерия», при изучении курсов «Микро- и нанотехнологии», «Наноматериалы: свойства и применение», а также при самостоятельной подготовке и переподготовке специалистов в области нано- и микроэлектроники.Введение.
Теоретическая часть.
Метод плазмохимического осаждения из газовой фазы.
Влияние режимов роста углеродных нанотрубок методом ПХОГФ на их свойства.
Влияние толщины каталитического слоя.
Влияние температуры роста.
Влияние соотношения технологических потоков аммиака и ацетилена.
Практическая часть.
Назначение установки.
Технические данные.
Процесс выращивания УНТ на установке PECVD.
Руководство к проведению экспериментальных исследований на установке PECVD.
Контрольные вопросы.
Заключение.
Библиографический список.