Учебно-методическое пособие. — Екатеринбург: Уральский федеральный университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина, 2018. — 132 с. — ISBN: 978-5-7996-2474-3.
Учебно-методическое пособие составлено на основе курса лекций «Исследование материалов микро- и наноэлектроники», читаемого магистрам направления 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» в Уральском федеральном университете имени первого Президента России Б. Н. Ельцина. Рассмотрены основные функциональные и конструкционные наноматериналы. Представлены методы их получения и области применения, а также описаны их основные свойства.
Пособие предназначено для студентов, аспирантов и специалистов, изучающих материалы микро- и наноэлектроники.
Введение.
Функциональные наноматериалы.
Факторы, определяющие функциональные свойства наноструктурированных материалов.
Основные принципы получения функциональных наноматериалов.
Методы получения и применение функциональных наноматериалов.
Примеры функциональных наноматериалов.
Методы исследования наноматериалов.
Практические задания.
Определение структуры и параметров нанокерамик методом сканирующей электронной микроскопии.
Определение химического состава микро- и нанокристаллического оксида алюминия.
Контрольные вопросы.